2.3　聚乙烯薄膜的等离子体处理

聚乙烯薄膜等离子体处理采用HD-1B型低温等离子体处理仪，系统装置示意图见图2-1，装置由真空系统（真空泵1和真空泵2），真空测量计，内平行电极电容耦合圆筒状反应室，SY型500W射频功率源，SG-Ⅲ型功率计，SP-Ⅱ型射频匹配器（射频频率为13.56MHz），DK800-4型玻璃转子气体流量控制阀，ZDO-2型热偶真空测量计等组成。

图2-1　低温等离子体系统装置示意图

1，2—真空泵；3—热偶真空测量计；4—反应室；5—射频匹配器；6—射频功率源；7—气体流量控制阀；8—高压气体减压阀；9—高压气体钢瓶

样品等离子体处理的过程和方法如下。

①等离子体处理实验开始前，将等离子体反应室内的电极及器壁等用无水乙醇清洗干净，使电极和反应室保持干净，无其它杂物和灰尘。

②将预先准备好的聚乙烯薄膜样品用棉线拴在玻璃棒上并置于等离子体改性设备的中央，关闭反应室及各路针阀，启动真空泵1和真空泵2，抽本底真空至0.1Pa以下。

③关闭真空泵2，同时打开气体流量控制阀，使氧气通入反应室，等待1min，先清洗反应室和管路中的残余气体，再调节气体流量使反应室工作压力达到20Pa。

④待反应室中的工作压力稳定后，启动射频电源进行辉光放电（预热5～10min），在处理功率为30W的条件下（通过调节匹配电容使反射功率接近零，等离子体的有效功率最大），对样品分别处理10s、20s、40s、60s、80s、120s、160s、200s和300s。

⑤处理完毕后，先关闭射频电源，然后再依次关闭气体流量控制阀、真空泵，反应室通空气，打开反应室上盖，用镊子取出样品进行分析。