前言

微机电系统（MEMS，即Micro Electro Mechanical System）是微电子技术的拓宽和延伸，通过传感器、致动器、信号处理、控制等多项功能，与外部世界有机地联系起来。微机电系统将运动、光、声、热、磁等自然界信号转换成电信号；微电子系统接收这些信号，进而发出指令，控制执行部件完成所需要的操作。微机电制造技术将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，实现微电子与机械融为一体的微机电系统，不仅可以降低机电系统的成本，而且还可以完成许多大尺寸机电系统无法完成的任务。微机电系统将信息获取、处理和执行融为一体，集中了微米尺度的机械、电子、光学元器件和各种传感器，派生出多种新原理、新器件和新系统，将进一步促进产品的微型化和智能化，在空间、信息、汽车、工业控制、通信、大容量数据存储、光信息处理、仪表仪器和国防等领域有广泛用途。

本书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系统全面，包含了微机电系统制造过程中微机械加工、微封装、微检测各个环节；微机电系统构成中的各种微传感器、微执行器、微构件、微系统的工作机理；先进的微机电系统设计技术以及计算机辅助技术；多种设计手段和实用软件。

本书可供希望了解或采用微型机电系统的工程技术人员阅读，也可作为机械工程类学生学习专业选修课的参考书。

本书的第1、2、6、7、8、9章由莫锦秋编写，第3、4、5、10章由王石刚编写，第11、12章由梁庆华编写。在本书的编写过程中，林烨、汪国宝、刘洪涛、胡文等同学给予了大力的支持和协助，中科院微系统所车录锋老师给予了指教，在此表示谢意。

由于我们水平有限，且时间仓促，难免存在不妥之处，敬请批评指正。

编著者