1.1.4　常用的真空技术名词

（1）真空度：表示真空状态下气体稀薄的程度，通常用压强值“托”表示。

（2）极限真空：真空系统或真空泵在给定条件下，经充分抽气后，所能达到的稳定的最低压强。

（3）反压强：真空系统中有前级真空的真空泵的出口压强。

（4）抽气速率：在一定压强和温度下，单位时间内泵从被抽容器抽除的气体体积。

（5）漏气速率：单位时间内，气体通过漏孔漏入到真空容器中的气体量。单位为托·升/秒。

（6）压升率：真空系统或被抽容器，在单位时间内，因漏气而导致压强升高的值。单位为托/分或毫米汞柱/分。

（7）总压强：真空系统中所有气体分压强的总和。

（8）分压强：真空系统中各种单一气体所具有的压强。

（9）饱和蒸气压：在一定的温度下，物质蒸发到空间所能达到的最大分压，称为该物质在此溢度下的饱和蒸气压。

（10）平均自由程：一个分子与其他气体分子每连续两次碰撞所走过的路程叫自由程，相当多的不同自由程的平均值叫平均自由程。

（11）黏滞流：气体分子平均自由程比导管截面最大线性尺寸小得多的气体流动。

（12）分子流：气体分子平均自由程大于导管截面最大线性尺寸的气体流动。

（13）黏滞-分子流：处于黏滞流和分子流之间的流动。