8.3　特种气体供应

8.3.1　特种气体供应应采用外购钢瓶气体、液态气体，在工厂内应设置储存、分配系统。

8.3.2　特种气体供应储存分配系统设备应根据特种气体的性质和储存数量布置在独立的建（构）筑物内或生产厂房的专用房间内。

8.3.3　布置在独立的建（构）筑物内或区域的特种气体设备的火灾危险性的确定应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。

8.3.4　布置在生产厂房内的自燃、可燃特种气体设备分配间的火灾危险性应按甲类确定。

8.3.5　新建工厂的大宗硅烷站应布置在独立建筑物或构筑物内，改、扩建项目的大宗硅烷站可与工厂其他气体供应站房布置在同一栋建筑物内，并应用防爆墙与其他气体供应间隔开。

8.3.6　特种气体系统的气瓶柜、气瓶架的设置应符合现行国家标准《特种气体系统工程技术规范》GB 50646的有关规定。

8.3.7　可燃特种气体的气瓶柜应符合下列规定：

1　硅烷气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/h，且气瓶柜的负压应连续监控；

2　自燃特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器及自动灭火系统；

3　可燃特种气体的气瓶柜应设置自动灭火系统；

4　自燃、可燃特种气体的气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢板。

8.3.8　特种气体系统吹扫氮气的设置应符合下列规定：

1　特种气体系统的吹扫氮气应与独立的氮气源连接，并不得与公用氮气或工艺氮气系统相连；

2　不相容性特种气体系统的吹扫氮气不得共用同一氮气源；

3　吹扫氮气管线应设置止回阀。

8.3.9　特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定：

1　特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫装置，防止空气倒流造成污染和腐蚀；

2　不相容性特种气体的排气不得接入同一排气主管；

3　自燃、可燃、毒性、腐蚀性特种气体的排气应经过尾气处理装置进行处理，确保达到国家规定的允许排放标准。

8.3.10　生产厂房内的可燃和毒性特种气体管道应明敷，穿过生产区墙壁与楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝，套管与管道之间应采用密封措施。可燃、毒性、腐蚀性气体管道的机械连接处应置于排风罩内。

8.3.11　特种气体和吹扫气体的管道和管件应采用奥氏体超低碳不锈钢无缝钢管，内表面应进行洁净和钝化处理。

8.3.12　可燃、氧化性特种气体管道应设置静电泄导的接地设施。

8.3.13　室外布置的特种气体管道应架空布置。

8.3.14　具有自燃、剧毒性、强腐蚀性的特种气体宜采用双套管设计，内管走工艺气体，套管间可采用封闭或开放形式。