9　供暖、通风、空气调节与净化

9.1　一般规定

9.1.1　洁净室（区）的空气洁净度等级以及洁净室形式应根据生产工艺对生产环境的要求确定。

9.1.2　洁净室（区）的气流组织应根据洁净度等级以及生产工艺要求确定。

9.1.3　净化空调系统分开设置的原则除应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472的有关规定外，还应符合下列规定：

1　温、湿度基数差别大的洁净室应分开设置净化空调系统；

2　温、湿度允许波动范围差别大的洁净室应分开设置净化空调系统。

9.1.4　洁净室内的新风量应取下列两项中的最大值：

1　补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和；

2　保证供给洁净室内每人每小时的新风量不小于40m3。

9.1.5　洁净室与周围的空间应保持一定的静压差，静压差应符合下列规定：

1　不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa；

2　洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa；

3　洁净室与室外的静压差不应小于10Pa。

9.1.6　布置在阵列、彩膜、成盒厂房核心生产区的风管、水管应采取减振措施。