9.3　空气调节与净化

9.3.1　净化空气调节系统的新风应集中进行热、湿、净化处理，新风处理机组的设置应符合下列规定：

1　送风机应采取变频措施；

2　空气应经过粗效、中效、高效过滤器三级处理；

3　阵列、彩膜、成盒厂房应设置备用新风处理机组；

4　阵列、彩膜、成盒厂房的电机与风机应采用直联驱动方式，且有良好的减振措施；

5　新风的吸入口位置应远离排放有害物或可燃物的排气口；

6　加湿方式宜采用温水淋水室；

7　应有良好的气密性，在工作压力下的漏风率不得大于1%。

9.3.2　阵列、彩膜、成盒厂房净化空气调节系统的循环风宜采用风机过滤器机组和干冷却盘管处理，模组和背光源厂房净化空气调节系统的循环风宜采用循环空气处理机组处理。

9.3.3　阵列、彩膜、成盒厂房的洁净室宽度超过80m时，宜在宽度方向布置不同阻力的回风高架地板。

9.3.4　干冷却盘管的设置应符合下列规定：

1　迎面风速不宜超过2.5m/s；

2　空气侧阻力不应大于40Pa；

3　布置在同一洁净室（区）内的干冷却盘管，在工作条件下空气侧阻力相差不得大于10%；

4　冷冻水的供水温度宜高于洁净室（区）内的露点温度；

5　干冷却盘管应设置排水系统，非落地安装的干冷却盘管应设置积水盘。

9.3.5　风机过滤器机组的设置应符合下列规定：

1　应根据空气洁净度等级和送风量选用；

2　宜采用直流调速电机；

3　机组应采取消音措施，消音装置不得采用产尘材料，且其燃烧性能等级应达到B级；

4　洁净度等级为7级～9级的洁净室（区）不宜采用聚四氟乙烯滤料的过滤器；

5　应便于安装、维修及过滤器更换。

9.3.6　当采用新风处理机组+风机过滤器机组+干冷却盘管的净化空调系统时，洁净区各部位的风速应符合下列规定：

1　上技术夹层不应大于4m/s；

2　下技术夹层不应大于3m/s；

3　回风夹道不应大于4m/s。

9.3.7　空调冷、热源和水系统的设置应符合下列规定：

1　空调冷媒应采用低温和中温冷冻水系统；除新风处理机组的二级冷却盘管使用低温冷冻水外，其余冷却盘管宜使用中温冷冻水。

2　干冷却盘管的中温冷冻水系统宜采用同程式，供水干管的末端宜与回水干管间设置旁通管。

3　布置在吊顶内、下技术夹层及回风夹道内的中温冷冻水系统供水干管应保温。

4　布置在阵列、彩膜、成盒厂房核心生产区内的冷、热水管的固定支架不应设置在建筑结构体系上。

5　变电所内不宜布置空气调节器，不得布置各种水阀和水系统配件。

9.3.8　洁净室的送风量应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。

9.3.9　洁净室的噪声控制设计的噪声级（空态）应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472的有关规定，但当洁净室采用风机过滤器机组和干冷却盘管处理循环空气时，单向流和混合流洁净室的噪声级（空态）不应大于70dB（A），非单向流洁净室的噪声级（空态）不应大于65dB（A）。