真空电子器件生产线设备安装技术标准
上QQ阅读APP看本书,新人免费读10天
设备和账号都新为新人

5.1 表面处理工艺

5.1.1 表面处理工艺环境应符合下列规定:

1 工作间地面、墙面、柱面及顶面应采取防腐蚀措施;

2 设备地面及工作区应设有废水收集槽,并应通过排放管道排入废水处理设施;

3 排放有害气体的表面处理设备应设置局部排风装置;

4 表面处理的清洗间、电镀间和喷涂间应设置通风装置;

5 可设置洁净零件贮存柜;

6 可设置单独隔离的设备控制电源操作间。

5.1.2 表面处理工艺动能条件应符合下列规定:

1 电源应采用三相四线,TN-S系统供电;

2 压缩空气压力应满足0.4MPa~0.6MPa,固体颗粒粒径应满足0.01μm~0.1μm,压力露点应满足-40℃~-20℃,最大含油量应满足0.01mg/m3~0.1mg/m3

3 纯水供应系统供应的纯水电阻率不宜低于12MΩ·cm(25℃);

4 表面处理完成后的零件采用氮气气体保护时,氮气压力应满足0.2MPa~0.3MPa,纯度不宜低于99.99%。

5.1.3 表面处理工艺产生的废水、废气的处理应符合下列规定:

1 表面处理工艺产生的废水应主要包含碱性废水、酸性废水、电镀废水;废水的排放应符合现行国家标准《污水综合排放标准》GB 8978的有关规定;电镀废水的处理应符合现行国家标准《电镀废水治理设计规范》GB 50136的有关规定;

2 表面处理工艺产生的废气主要应包含碱性废气、酸性废气、有机溶剂废气;废气的排放应符合现行国家标准《大气污染综合排放标准》GB 16297的有关规定。

5.1.4 表面处理工艺使用腐蚀性化学品区域应设置紧急冲身洗眼器。