3.6 LTPO TFT背板

显示屏分辨率和帧率的提高带来了驱动芯片动态功耗的显著增加。因此，能够根据显示内容自适应地调整帧率，以有效地降低动态功耗成为一个重要的技术方向。为此，用于显示驱动和控制的 TFT 像素电路需要具有足够小的漏电流，以便在低帧率下保存存储的信息。目前，LTPS TFT技术，由于其高迁移率和良好的稳定性，成为小尺寸高分辨率显示的主流背板技术。然而，在关态偏压下，漏极区形成较强的电场；同时LTPS薄膜界面缺陷态的存在会辅助隧穿效应的增强，导致较大的反偏漏电流，给实现低帧率显示驱动带来了很大的挑战。利用AOS TFT的超小漏电流和低温工艺的特点，Apple公司提出了 LTPS TFT 和 AOS TFT 混合集成的 LTPO 结构，实现了低至 1Hz 帧率的AMOLED显示屏，应用于常开的低功耗穿戴手表。Samsung则实现了应用于智能手机的柔性 LTPO-AMOLED 显示屏的量产。多个企业和研究机构围绕LTPO的量产工艺及不同的显示与电路应用开展了相关的研究和开发。本节将重点介绍LTPO的集成结构、所面临的工艺问题及LTPO-AMOLED像素电路的设计。