1.3 高密度集成电路有机封装材料
随着封装技术的不断发展,封装形式和结构越来越多,所涉及的封装工艺和封装材料也越来越多,对材料性能的要求也越来越高[27-30]。图1.15是一种典型的BGA封装结构。高密度集成电路封装(电子封装)必须攻克四大关键技术,包括基板技术、薄厚膜技术、微互连技术和封装技术。随着高密度电子封装技术水平的不断提高,电子封装的许多功能,包括电气连接、芯片保护、应力吸收缓冲、散热防潮、尺寸过渡等,都必须部分或全部由封装基板来提供,因此基板技术成为先进封装的核心技术。
按照电气绝缘和机械支撑材料的不同,封装基板主要分为无机基板、有机基板两大类[28]。其中,无机基板以Al2O3、AIN、SiC、BeO等陶瓷为基材,主要采用高温(1650℃)共烧陶瓷(High Temperature Cofired Ceramics,HTCC)和低温(900℃)共烧陶瓷(Lower Temperature Cofired Ceramics,LTCC)两种方式实现高密度多层布线,具有热导率高、热膨胀系数低、弯曲强度高等特点,广泛应用于HIC和MCM等大功率器件,如超级计算机的高密度多层基板、航天计算机的MCM基板等;有机基板以有机树脂与玻璃布复合材料或有机薄膜为基材,采用积层多层布线和多层压合方式实现高密度多层布线,具有质量轻、价格低、易实现多层化、易自动化生产等特点,目前已经实现了普遍使用[31]。多层基板层间绝缘层的形成方法主要有4种:感光树脂/光刻成孔法;热固性树脂/激光成孔法;附树脂铜箔/激光成孔法;无芯板全层导通孔法。
图1.15 一种典型BGA封装结构
高密度电子封装需要多种无机封装材料和有机封装材料。其中,无机封装材料包括金属材料(如金丝、导体铜箔、焊料等)、陶瓷材料(如陶瓷基板等);有机封装材料的使用量最大、应用面最广,主要包括:①基板材料,用于搭载各种IC芯片,如硬质封装基板、挠性封装基板等;②层间互连光敏性树脂材料,主要用于IC芯片表面上的多层互连布线、凸点制作、芯片黏结等,如光敏聚酰亚胺树脂、光敏苯并环丁烯树脂、高耐热胶膜、光刻胶及高纯化学试剂等;③封装材料,主要用于保护搭载在基板上或固定在引线框架上的IC芯片,如环氧塑封料、环氧底填料、芯片黏结胶膜、导热黏结材料等[32]。
本书将系统介绍上述3类有机封装材料,主要包括:①封装基板材料,如刚性高密度封装基板材料和挠性高密度封装基板材料;②层间互连光敏性树脂材料,如光敏聚酰亚胺树脂、光敏聚苯并咪唑树脂、光敏苯并环丁烯树脂、光刻胶及高纯化学试剂;③封装材料,如环氧塑封料、环氧底填料、导电黏结材料、导热黏结材料、芯片黏结胶膜等。
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