2.3.2 空调系统

空调系统是指为生产工艺过程或为系统正常运转创造必要环境条件的空气处理系统。在集成电路制造工厂中，空调系统可以调节与控制某个房间或空间内的温度、湿度和空气流动速度等，并供应新风和排除污浊空气。洁净室不同的洁净等级需要不同的换气次数，换气次数=房间送风量/房间体积，单位是次/小时。各等级的洁净室换气次数情况见表2.4[8]。

表2.4 各等级的洁净室换气次数情况

空调系统的新风处理机组是将室外空气进行一系列的预先处理，然后送入洁净室的设备新风量与生产设备的排气量尽量同步保持一定的比例，若比例稍大于1，超过排气量的那部分新风可以用来保持洁净室的正压，可间接控制洁净室内压差，防止洁净室设备搬入口以及净化间进出口打开时颗粒较多的外气进入洁净室内，影响洁净度。

（1）新风处理系统的结构组成：主要包括过滤器、空气洗涤器、冷却器、风机、加热器等，如图2.5所示。

图2.5 新风处理系统示意图

（2）空调箱内过滤器的选用、布置和安装方式：根据空气洁净等级选用组合过滤器，中效或高效过滤器宜集中设置在空调箱的正压段。

（3）洁净室内的湿度控制：主要由空调机组将外气的温度降低到能够达到除湿的目的后，再升温到一定温度；若外气过于干燥，则先将空气加热，再经过加湿系统，最后将空气送出。

（4）洁净室新风系统的工作原理：经过空调箱处理后的恒温恒湿的新风经风管送入洁净室回风墙内并与洁净室的回风进行混合，在风机过滤机组的作用下，在洁净室内形成新风流动场。洁净室新风系统通过空调箱送入恒温恒湿的新风，空气在洁净室内部循环，如图2.6所示。

图2.6 洁净室新风系统示意图