等离子体刻蚀工艺及设备
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第1章 集成电路简介

1.1 集成电路简史

1.1.1 什么是集成电路

集成电路(Integrated Circuit, IC)是一种微型电子器件或部件,它是将电路所需的晶体管、电容、电阻和电感等元器件及这些元器件之间的连线,通过半导体工艺的方式集成在一起,并具备特定功能的微型结构。通过这样的集成方式,电路体积大大缩小,引出线和焊点的数量也大为减少,从而使电子元器件的体积更加微小、功耗降低、可靠性提高、成本降低,便于大规模生产,为电子信息、通信、消费电子等行业的快速发展奠定了基础。基于硅材料的集成电路技术是当今半导体工业的主流技术。

集成电路是信息产业的基础,一直以来占据全球半导体产品超过80%的销售额,被誉为“工业粮食”,涉及电子计算机、家用电器、数码产品、自动化控制、电气、通信、交通、医疗、航空航天等众多领域,在几乎所有的电子设备中都被使用。对于未来社会的发展方向,包括5G、人工智能、物联网、自动驾驶等技术,集成电路更是必不可少的基础。只有在集成电路的支持下,这些应用才可能得以实现[1]。所以,集成电路产业是国民经济中基础性、关键性和战略性的产业,集成电路产业的强弱是国家综合实力强大与否的重要标志[2]