等离子体刻蚀工艺及设备
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1.2.1 存储器IC

存储器是指利用电能方式存储信息的半导体介质设备,其存储与读取过程体现为电子的存储或释放,广泛应用于内存、U盘、消费电子、智能终端、固态存储硬盘等领域。存储器分类如图1.7所示。存储器根据断电后所存储的数据是否会丢失,可以分为易失性存储器(Volatile Memory)和非易失性存储器(Non-Volatile Memory),其中动态随机访问存储器(DRAM)和与非型闪存(NAND Flash)分别为这两类存储器的代表。尽管存储器IC种类众多,但从产值构成来看,DRAM与NAND Flash是存储器IC产业的主要构成部分。

图1.7 存储器分类