光刻巨人:ASML崛起之路
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译者序

最近,“光刻机”这样一个生僻的名词变得越来越热门。不在科技圈的朋友也经常问:什么是光刻机?为什么一台EUV(极紫外线)光刻机可以卖1.2亿欧元,而世界上只有一家公司可以生产?

这就是坐落在人口不到30万的荷兰南部城市维尔德霍芬的一家名叫ASML(阿斯麦)的公司,它目前是全球最大的光刻机制造商。

其实,ASML制造的芯片已经融入我们每一个人的生活:它几乎存在于市面上所有的电脑、手机和其他电子产品里。但这家半导体集成电路领域的尖端公司,对中国读者来说却是非常陌生的——国内几乎没有关于这家年营业额超过100亿欧元的公司的书籍,我们对ASML如何经历“九死一生”而成为行业领袖的故事也一无所知。

随着网络的蓬勃发展,相信有越来越多的朋友对ASML近些年的事迹有所耳闻。这不禁更加让人好奇:ASML到底是一家怎样的公司?是怎样的企业文化和团队让ASML成长为今天的样子?本书为大家揭开了ASML从一无所有到后来居上的神秘面纱。

作为中国半导体行业20多年的从业者,我亲历了国产芯片从只有一两个落后的晶圆厂到今天300毫米生产线遍地开花的过程。虽然芯片行业的整体发展激动人心,但半导体设备制造业仍是中国制造的短板之一。

出版人兼记者René Raaijmakers先生用了长达7年的时间采访ASML的创始人和后来的多位首席执行官,还访问了数十位核心员工,并通过仔细查阅企业档案,给我们重现了ASML从诞生到走向辉煌的过程中那些惊心动魄的时刻。

本书尽量保留了原书的语言风格,努力给读者呈现一种荷兰式的思维模式,其目的是让读者对这场人类科技的伟大冒险有一种浸入式的体验。

不过,书中大量的外国人名和技术内容,对译者翻译和读者阅读来说都是一种挑战。然而当你努力通读完全书后,一定会感到收获满满并产生一种敬意。令人感慨的是,从书后的人物表中可以看到很多英雄已经逝去,而正是他们坚持不懈的工作,才使我们今天的生活发生了翻天覆地的变化。

本书的前3章介绍的是ASML诞生前的故事,这是ASML渐入佳境前的铺垫。对一些读者来说,内容也许有点单调,如果缺乏耐心可能会中途放弃。那样的话,你就错过了后面7章所描写的一环套一环的精彩商战。

对于创业企业和高科技领域的奋斗者来说,这本书也有较深刻的借鉴意义,因为它还是一本关于科技、财经和企业管理的书。有意思的是,书中并未对ASML进行大肆吹捧,反而极其写实地披露了公司发展中的各种问题,甚至管理者的性格弱点。

同时,我在自己的微信公众号上发表的《光刻机之战》系列得到广泛的转载,阅读量超过百万,深受读者欢迎。在推荐本书的文章发表后,读者留言占满了微信留言板,大家对本书中文版的出版表现出极大的期待。

这本书的每一章对读者来说都会是新鲜的,因为书中的内容很难在网上或别的书里看到。就阅读体验来说,这种巨大的信息量可能需要较多的时间来消化。然而这正是好书才有的特点,细细品味会带给你对这段科技历史如身临其境的感觉。

ASML的故事仍在继续。相信读完本书后你会为ASML及光刻机发展跌宕起伏的故事所震撼,也会对芯片产业的发展更加充满期待。

最后,衷心感谢人民邮电出版社能够出版这本对半导体行业乃至中国自主创新道路有巨大参考价值的书。

金捷幡

2020年6月

为了使阅读顺畅,下面列出书中反复出现的一些缩写,以帮助读者理解。

Natlab:飞利浦享有盛誉的前沿技术研发实验室,是光刻机和各项核心技术诞生的摇篮。

Elcoma:飞利浦的半导体和材料部,是光刻机的需求方,经常是ASML的第一个客户。

S&I:飞利浦科学与工业部,负责工业化产品的量产,包括光刻机的量产。ASML是S&I和ASM国际公司的合资企业。

CFT:飞利浦制造技术中心,负责提供产品工程化的技术支持。

Perkin-Elmer:最早销售工业用光刻机并领先市场的美国公司。

GCA的David Mann公司:继Perkin-Elmer后光刻机领域的前沿公司。

在英文世界里,并没有“光刻机”这样一个固定名词。随着技术的演进,光刻机的名称也在不断变化:

Lithography(简称Litho):光刻。

Photo repeater:最早的光刻机,重复曝光光刻机。

Aligner:对齐光刻机,用来保证套刻的准确性。

Stepper:步进光刻机,一次曝光晶圆的一个区域。

Scanner:扫描光刻机,用光缝扫描的方式曝光晶圆的一个区域。

Lithography system:光刻系统或光刻机。现代光刻机是Stepper和Scanner的结合体。


书中的人物和名字众多,但每一章通常只有两三名核心人物。每一章都会先介绍他们的背景,对其进行简单了解后对于阅读该章将很有帮助。