单晶硅超精密加工技术仿真
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第2章 超精密切削有限元理论研究及模型建立

超精密切削不同于普通切削,首先应该以超精密切削的理论为基础,准确理解和分析超精密切削过程,优化超精密切削中的参数。超精密切削与普通切削最大的区别就是切削深度与刀具半径在同一数量级,刀具不再是尖刀,所以超精密切削过程中一定要考虑钝圆半径对切削过程的影响。其次,超精密切削过程是一个大变形、大位移的高度非线性问题,要应用有限元的非线性理论去求解。只有掌握有限元法的线性、非线性理论及其求解过程,抓住有限元算法思想,才能灵活驾驭和利用有限元软件这个分析工具,才能利用已有的超精密切削和有限元法理论,使用大型商业有限元软件MSC.Marc正确建立超精密切削的二维模型。