气敏传感器的制备与应用

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前言

第1章 纳米薄膜气敏技术发展与展望

1.1 纳米薄膜气敏技术发展与展望

1.2 按材料分类的纳米薄膜气敏传感器

1.3 气敏传感器中的非线性信号处理

第2章 薄膜制备技术

2.1 溶胶-凝胶（sol-gel）法

2.2 气敏传感纳米薄膜制备溅射技术

2.3 溅射过程中薄膜的形成及其气敏机理

2.4 太阳能电池的ZnO透明导电膜陷光电极的制备

第3章 检测技术

3.1 气敏特性测试

3.2 X射线技术在传感器纳米薄膜晶体结构及晶粒尺寸分析中的应用

3.3 扫描电子显微镜分析

3.4 利用原子力显微镜观测薄膜的平整度

3.5 利用椭圆偏振光测定介电薄膜的厚度

第4章 掺杂理论与元件的功率计算

4.1 金属氧化物掺杂对TiO2气敏特性的影响

4.2 氧化物导电薄膜的最佳掺杂含量理论计算

4.3 二氧化锡薄膜的最佳掺杂含量理论表达式

4.4 气敏传感器元件的功率计算

第5章 气敏传感器信号的处理与融合

5.1 气敏传感器中的非线性信号及其反演

5.2 经典非线性信号（函数）拟合法

5.3 近代非线性信号（函数）拟合法

5.4 传感器非线性信号的补偿与融合

第6章 实际应用

6.1 矿井瓦斯检测

6.2 一种智能气敏传感器及其无线数据传输系统

6.3 油库漏气的检测

6.4 基于无线传输的多探头湿度控制仪

6.5 车辆驾驶人员呼气酒精含量检测